浜у搧璇︽儏
浜у搧 | 浜у搧浠嬬粛 | 鍏抽敭鎬ц兘鎻忚堪 |
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ArFi鍏夊埢鑳迭/td> | 娴告病寮廇rF鍏夊埢鑳舵槸浠ユ盁鍖栨癌锛圓rF锛夋縺鍏夛紙娉㈤暱193nm锛変负鏇濆厜鍏夋簮鐨勫厜鍒昏兌锛屼富瑕佺敤浜?5nm浠ヤ笅闆嗘垚鐢佃矾鍒堕€犳妧鏈妭鐐广€傚叕鍙稿凡寮€鍙戠殑娴告病寮廇rF 鍏夊埢鑳朵骇鍝佸寘鎷鏄惧奖锛圥TD锛夊拰璐熸樉褰?NTD)涓ょ被锛岄€傜敤宸ヨ壓鍖呮嫭Poly銆丮etal銆丆ontact Hole銆乂ia绛夛紝搴旂敤棰嗗煙娑夊強瀛樺偍锛?D NAND, DRAM锛夊拰楂樻€ц兘閫昏緫鍣ㄤ欢銆侟/td> | 鑶滃帤50-200nm锛孋D ≥37.5 nm |
鍏抽敭璇嶏細鏅跺渾鍏夊埢鑳
涓婁竴鏉★細 娌℃湁浜嗭紒
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